300mmIC生产线主动物料转移体系研制与运用
2015-03-26 11:48:20 点击：
日前，沈阳新松机器人主动化股份有限公司承当的“300mmIC生产线主动物料转移体系研制与运用”项目在沈阳通过了国家科技严重专项“极大规模集成电路制作配备与成套工艺”（02专项）施行办理单位组织的检验。
沈阳新松机器人主动化股份有限公司成功研制“300mmIC生产线主动物料转移体系”，打破了国外集成电路配备公司在国内的独占位置。
该项目由新松公司联合中科院沈阳主动化所、上海集成电路研制基地有限公司等实力雄厚的研究院所、公司进行技能攻关，要点霸占在洁净体系设计及优化技能、无接触供电技能、气流剖析技能、体系可靠性技能、物流调度剖析等共性关键技能，完成了物料操控体系软件、洁净天车、天井式转移车、洁净立库、洁净有轨制导车辆及外接晶片装载设备等基地设备的开发，并在上海集成电路研制基地有限公司完成了主动物料转移体系的演示运用，完成了洁净物料传输体系配备的国产化，项目合同期内完成了主动物料转移生产线5条，完成销售收入1.44亿元。
该体系的研制成功不只打破了国外集成电路配备公司在国内的独占位置，降低了晶圆制作公司生产成本，同时推动了中国集成电路配备产业的开展，并股动全部配备制作的产业链的开展，加快中国配备制作业的转型晋级。
据悉，该项目资金总额为12,726万元，依照中心：当地：公司＝1:1:1的需求，中心投入4,242万元，当地配套资金4,242万元，新松公司运用自筹资金4,242万元。
下一步，新松公司将在三期产业园，新建超越6000平方米的洁净车间，用于主动化物料转移体系及其基地设备商品研制、测验和验证，进一步进步洁净商品的产业化才能。
沈阳新松机器人主动化股份有限公司成功研制“300mmIC生产线主动物料转移体系”，打破了国外集成电路配备公司在国内的独占位置。
该项目由新松公司联合中科院沈阳主动化所、上海集成电路研制基地有限公司等实力雄厚的研究院所、公司进行技能攻关，要点霸占在洁净体系设计及优化技能、无接触供电技能、气流剖析技能、体系可靠性技能、物流调度剖析等共性关键技能，完成了物料操控体系软件、洁净天车、天井式转移车、洁净立库、洁净有轨制导车辆及外接晶片装载设备等基地设备的开发，并在上海集成电路研制基地有限公司完成了主动物料转移体系的演示运用，完成了洁净物料传输体系配备的国产化，项目合同期内完成了主动物料转移生产线5条，完成销售收入1.44亿元。
该体系的研制成功不只打破了国外集成电路配备公司在国内的独占位置，降低了晶圆制作公司生产成本，同时推动了中国集成电路配备产业的开展，并股动全部配备制作的产业链的开展，加快中国配备制作业的转型晋级。
据悉，该项目资金总额为12,726万元，依照中心：当地：公司＝1:1:1的需求，中心投入4,242万元，当地配套资金4,242万元，新松公司运用自筹资金4,242万元。
下一步，新松公司将在三期产业园，新建超越6000平方米的洁净车间，用于主动化物料转移体系及其基地设备商品研制、测验和验证，进一步进步洁净商品的产业化才能。
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